ASML与比利时微电子研究中心签署谅解备忘录，支持高NA半导体研究
来源：互联网 2023-06-28 22:57:26


(资料图片)

据界面，6月28日，荷兰光刻机巨头ASML官网宣布，与比利时微电子研究中心(Imec)签署谅解备忘录，将在下一阶段加强合作，在IMEC开发一个最先进的高数值孔径(High-NA)极紫外光刻试验线。谅解备忘录包括在比利时鲁汶的Imec中试线安装和服务ASML的全套先进光刻和计量设备。

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